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4N磷酸锂靶材

  • 简介: 化学成分Chemical Composition: 1、Li3PO4 Target纯度Purity (wt%) ≧ 99.99% 2、杂质含量Impurity Con....
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祥细介绍
4N磷酸锂靶材
 4N Li3PO4 Target
 
产品名称/规格
Product Name / Specification
 
氧化铝靶材   Li3PO4 Sputtering Target
 
规格 Grade:99.99%
 

一、化学成分Chemical Composition:

    1、Li3PO4 Target纯度Purity (wt%) ≧ 99.99%
  
    2、杂质含量Impurity Content: 单位 Unit PPm
元素Element
Fe
Cu
Pb
Cd
Ni
Co
Mn
K
Na
Ca
Sb
Mg
Si
含量Content
8
5
5
6
9
6
5
4
8
5
6
6
7

二、密度Density:

    1、靶材密度Density of target: ≥2.46g/cm3

    2、靶材相对密度Relative densityof target: ≥97%

三、晶体结构:尖晶石结构
四、靶材颜色Target color:纯白色

五、材质致密均匀:Dense & Uniform
 
六、靶材尺寸Dimensional tolerance:单位 Unit (mm)
长 Length(mm)
宽Width(mm)
厚Thickness(mm)
≤120±0.1
≤120±0.1
≤15±0.1
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