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4N铝酸铜靶材

  • 简介: 化学成分Chemical Composition: 1、CuAlO2 Target纯度Purity (wt%) ≧ 99.99% 2、杂质含量Impurity Co....
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祥细介绍

 

4N 铝酸铜靶材
 4N CuAlO2 Target

 
产品名称/规格
Product Name / Specification
 
铝酸铜靶材 CuAlO2  Sputtering Target
 
规格 Grade:99.99%
 


一、化学成分Chemical Composition:

    1、CuAlO2  Target纯度Purity (wt%) ≧ 99.99%
  
    2、杂质含量Impurity Content: 单位 Unit PPm

元素Element
Fe
Pb
Cd
Ni
Mn
K
Ti
Co
Na
Ca
Sb
Mg
Si
含量Content
8
5
6
9
5
4
9
7
8
5
6
6
7


二、密度Density:

    1、靶材密度Density of target: ≥ 4.83g/cm3
   
    2、靶材相对密度Relative densityof target: ≥95%

三、靶材颜色Target color:灰黑色

四、材质致密均匀:Dense & Uniform

五、靶材尺寸Dimensional tolerance:单位 Unit (mm)

长 Length(mm)
宽Width(mm)
厚Thickness(mm)
≤120±0.1
≤120±0.1
≤10±0.1

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